Halbleitertechnologie
Bd. 1 mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung
Serie / Reihe: Elektronische Festkörperbauelemente
Personen: Schade, Klaus
Schade, Klaus:
Halbleitertechnologie : Bd. 1 mechanische und chemische Kristallbearbeitung, Schichtherstellung / Klaus Schade. - 1. Aufl. - Berlin : Technik, 1981. - 238 S. : Ill. - (Elektronische Festkörperbauelemente)
fest geb.
Halbleiterbauelemente - Signatur: Q 213Schad - Buch